南方科技大學定制的CVD系統已完成調試整裝待發。
此款CVD系統由河南創合實驗室設備有限公司設計生產,由1200度三溫區管式爐,四路質量流量控制器及8C真空泵組合而成。三溫區管式爐可滿足三個溫區獨立控溫,工作溫度1150度,控溫精度±1℃,溫區220+440+220mm. 爐管尺寸80*1200mm,最大可放置70mm的樣品基底。四路質量流量控制器的量程由100SCCM-2000SCCM可選,可調可控。此款CVD系統可用于實驗室石墨烯材料制備,納米材料生長等,亦可以單獨用作管式爐使用。
河南創合實驗室設備有限公司是一家致力于提供高質量實驗電爐的生產廠家,產品包括不僅限于:實驗室箱式爐,馬弗爐,管式爐,CVD系統,PECVD成套設備,井式電爐,RTP管式爐,等離子清洗機,實驗室壓片機及其相關模具等,本公司系列產品已經過ISO9001:2015質量管理體系認證,歡迎廣大用戶的咨詢和指導。